二手 MEYER BURGER TS 116 #160564 待售

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ID: 160564
晶圆大小: 4"-6"
Slicing Machine, 4" to 6" For automatic slicing of ceramic materials, ferrite, quartz, optical glass Slicing blade dia.: 100-150mm Controller: GE Fanuc Series O-M (1999 vintage) Fixed spindle speed range from 2500-8000 RPM Longitudinal path: 300 mm Cross path: 140 mm Vertical path: 100 mm Resolution in all 3 axes: 0.001 mm Feed speeds programmable from 5-2000 mm/min Workable: 300 x 150 mm Distance spindle axis workable: 50-150 mm 1989 vintage.
MEYER BURGER TS 116是一种尖端的自动化晶体生长和锯切/切片设备,专为从单晶铸币切割薄晶片而设计。该系统的占地面积很小,可以高效生产直径达6英寸的晶片,同时容纳大量材料。自动晶体生长单元装有单闸阀的多元素炉,允许各种材料系统中的晶体高效生长。该机器能够单晶生长以及多晶生长,以及回火和熔化过程。用户友好的工具还包括集成安全系统、PID控制和真空兼容性,以及低噪声操作。资产的锯切/切片阶段能够从一个铸铁切割各种类型的薄片。利用最新的锯切技术,利用最小的材料浪费,生产出高精度、高产的薄片。6轴控制设备与锯切单元一起工作,确保提高晶圆切割和切片的精度。该系统还提供参数内存、集成的过程控制和监控等更新的可用性功能,以及方便诊断故障的帮助空间。此外,TS 116还提供Industry 4.0连接以及实时流程监控和数据日志记录。一个集成的称重单元允许自动装载和卸载楔形材料的原材料。此外,通过缓冲器滑动台提供过程间材料传输,从而使材料在晶体生长和晶片锯切/切片阶段之间的传输速度更快、效率更高。总体而言,MEYER BURGER TS 116是一款先进高效的晶体生长和锯切/切片机,结合了卓越的可用性特点和适合工业生产的可靠安全操作。TS 116是尖端晶体生长和锯切应用的理想选择,它具有生产优质薄晶片的能力,而且材料浪费极少。
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