二手 MEYER BURGER TS 23 #9019705 待售

MEYER BURGER TS 23晶体生长、锯切和切片设备是一种现代化、最先进的机器，设计用于高精度硅片生产的顶级研究和生产。该系统提供可靠、稳定和可重复的结果。MEYER BURGER TS23是一个三级单元，经过优化，可用于生长硅晶体，将生长的晶片锯切成片，最后研磨抛光芯片。三级机包括生长室、切片室和整理室。生长室设有垂直安装的超高温热区，含硅气体被加热到约1470 °C。高温时气体分子电离，含硅气体分解。硅蒸发，以薄、均匀、单晶层的形式沉积在基板表面上。生长室可以配备水平或垂直基板支架。切片室能够锯切、切片和装袋晶片。它配备了一个高真空切片头，在那里晶片可以被控制的、非常精确的方式切成碎片，精确地平行于晶体表面。精加工室专用于晶片的研磨和抛光。为此，它配备了精密研磨和抛光工具，如金刚石涂层磨料。TS-23用户友好且易于维护。该工具的主要组件由于其自对准腔室组件而具有中央可及性和用户友好性。资产的综合安全特性有助于确保用户安全。该型号配备了紧急停止按钮、激光眼部保护设备和防护手套箱系统。MEYER BURGER TS-23单元适用于多种应用，包括MOCVD、MBE和BCD生产，以及半导体和MEMS器件晶片的生产。通过使用该机器，研究人员和公司可以生产高质量、高精度和可靠的硅片。