二手 MEYER BURGER TS 23 #9409189 待售

MEYER BURGER TS 23是一款专门为先进的3"和4"晶圆生产而设计的自动化晶体生长、锯切设备。该系统包括电化学晶体生长、锯切和切片技术的优化组合。MEYER BURGER TS23电化学晶体生长单元可以生产先进的多晶体元宝，其起始原料种类繁多，包括GaN和相关化合物。生长室经过专门设计，可提供均匀的温度控制和低热梯度，以获得最佳的生长性能。该机还配备了先进的过程监控系统，对电化学过程进行精确控制。该工具配备了先进的X射线偏转锯锯单元，针对3"和4"晶圆的生产进行了优化。锯切机的设计是提供平滑的锯切与最小的功耗和最大的生产力。此外，资产还配备了多指拾取和放置自动化模型，可用于在锯切前精确放置和对齐晶片。TS-23还配备了切片设备，可以精确切割晶片。这包括一个专利旋转切片技术，最小化晶圆缺陷。此外，该系统还采用先进的激光扫描显微镜对切削晶片进行精确检查。简而言之，TS23是一个全自动的单元，允许精确处理3"和4"多结晶的元宝。该机配备了先进的工艺监控工具和切片技术，以优化晶体生长和切片工艺的性能和产量。此外,该工具还可提供最大吞吐量、最低能耗和最高生产率。