二手 NTC / KOMATSU PV500FD #9316437 待售
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NTC/KOMATSU PV500FD是为各类晶体的高效生长、加工和分析而开发的晶体生长、锯切和切片系统。它是专门为硅单晶等薄和块状晶体的生长及相关加工而设计的。NTC PV500FD由一个NTC晶体生长单元(CGU)和几个切削工具组成。CGU是一个专门的热室,配有一个特殊的高压高温敏感器,在其中心产生Czochralski(CZ)或浮动区(Floating Zone,FZ)生长的晶体。热场的剪裁可以提供一个非常快速和高度均匀的温度分布在整个腔室。这显着降低了晶体生长的不均匀性。锯是布置在CGU中心的全自动金刚石线锯。它能够将块状晶体切成薄且均匀的薄片,最小切片间距为5微米,切割速度为30至300毫米/秒。采用步进电动机精确控制,具有粗糙的可编程切割功能。切片和研磨设备由线性驱动皮带切片/抛光机和精密平行切片锯组成。根据晶体材料的不同,每一种都提供30至50毫米/秒的切片速度,以及可重复的表面光洁度和用于控制和调整切削轴的系统。它们还允许在材料损失最小的情况下对接近网状的晶圆盘进行精确切片。晶体表面分析由KOMATSU先进的镜面表面检测器提供动力,可用于准确监控和控制整体表面状况。这允许测量表面光洁度、原点方向的差异和表面微观结构。总之,KOMATSU PV500FD是一种先进的晶体生长、锯切系统.它提供了各种晶体类型和尺寸的快速而精确且均匀的生长、切割和切片,并且晶体表面分析确保了成品的最高质量。
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