二手 PHOTOMEC CZ / PTM #293645791 待售
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ID: 293645791
晶圆大小: 8"
优质的: 2016
Monocrystalline silicon grower, 8"
Furnace chamber, Φ24"
Seed stroke: 3000 mm
2016 vintage.
PHOTOMEC CZ/PTM晶体生长、锯切、切片设备是晶体生长、切片、锯切先进解决方桉的最先进生产线。这个系统允许不同半导体和电介质的高品质晶体的生长，包括硅和砷化氙。这使得晶体尺寸和尺寸能够满足下一代电子元件和设备不断变化的需求。CZ/PTM设置包括两个单独的模块。晶体生长模块支持垂直和水平运输屏蔽Czochralski （TSCz）多种子和高分辨率Bridgeman炉，以及用于晶体生长的梯度炉。它还包括旋转密封件、石英和crucible lifters、样品架和晶体处理工具等各种辅助设备，为快速、可靠、经济高效的晶体生长提供了最好的条件。晶体切片和锯切模块是一个最先进的单元，用于生产不同厚度和大小的晶片。它包括一个高级的化学机械抛光（CMP）单元，一个顶端的线单面皮带锯，和额外的工具。带锯产生平行、表面均匀、缺陷最小的晶片。CMP单元可确保每个晶片的平坦度和圆度非常精确,并减少平行误差。PHOTOMEC CZ/PTM机的两个模组被整合成一个单一的框架，允许晶体从生长室无缝转移到切片和锯切站。此外，该工具能够产生大量高度一致的晶体和晶圆。资产还包括由光学计量软件、粒子分析和3D测量组成的一整套质量控制模块，保证所有结果在整个过程中保持一致。最后，也值得注意的是，CZ/PTM机型高度可定制，可以适应客户的具体需求。它还配备了一套预防性维护工具和传感器，使设备能够不间断运行，降低维护成本。
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