二手 SHOWA SHINKU SFE-6130C #9053771 待售
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ID: 9053771
Ion gun system
Batch type
Capability: 180 pcs/tray (230 pcs/max)
Style of a jig: Tray (X-Y table)
Frequency range: 10-200MHz
Measurement: HP-E5100B
Machine tact: 6 sec/pce (2 step M.L.)
Accuracy: ±5ppm (2 steps H.L.); ±2ppm (3 steps H.M.L.)
Ion-Gun: Hot-Cathode type
NOS. of Ion-Gun: 1 set
Beam power supply: 1200V/50mA
Gain phase analyzer: HP-E5100B
Computer: DOS/V
Contact: π-Circuit
Chamber: Stainless
Dimension: 545(W)×580(D)×148(H)㎜
Penning gauge: PR25
Pirany gauge: TR211
Rotary pump: VD401
CRYO-pump: CRYO-08H
Power supply (3φ): 200/220, 7kva
Filament power :10V/12A
Discharge power: 35V/2A
Compressed air: 0.5-0.7Mpa
N2 gas: 0.1MPa
Cooled water: 0.2MPa
Ar gas: 0.2MPa.
昭和SHINKU SFE-6130C是一种晶体生长、锯切设备,专为精确的跨技术应用和专用工艺而设计。它是一个完全自动化的系统，以高精度和可重复性完成所有流程。该装置可生长单晶基板，用于高效的半导体制造目的。该机包括高输出加热元件、专用软件和氮基大气控制工具。它可以维持适合晶体生长的惰性环境。它具有快速的全数字伺服电机，能精确调节多轴和温度控制。它还带有显微镜，允许用户实时远程监控过程。此外，该资产还配备了CCD摄像头，可以对增长过程进行详细监控。这有助于确保整个过程按预期进行。该模型在可重复性方面优于传统的单晶基板生长方法。该设备还具有自动锯和切片功能。它有一个独特的，耐用的钻石锯片，提供卓越的清晰度和精确度。集成真空系统可以直接收集圆柱形废物。可调的进给速率可一次快速准确地切割多个样品。这些切割过程完全自动化,消除了人为错误并确保了一致的切割。SFE-6130C支持多种单晶和多晶材料。这使得它非常适合在各种各样的电子、光电和生物医学设备中制造精密零件。它以坚固的安全单元构成，以确保操作人员的最高安全。总的来说，SHOWA SHINKU SFE-6130C是一种可靠、自动化的晶体生长、锯切和切片机，具有很高的精度和可重复性。它非常适合现代技术间应用的复杂需求。它允许用户以可重复的精确度和高效率的方式生长和制造美丽而有利的晶体基板。
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