二手 STC EP 3800 #9266684 待售

製造商
STC
模型
EP 3800
ID: 9266684
晶圆大小: 8"
Edge grinder, 8".
STC EP 3800是一种高性能晶体生长、锯切设备,设计用于生产高纯度基板。作为系统的第一步,分子晶体生长是通过使用高温高压反应容器来完成的。反应堆能够在超高真空环境下达到高达1200 °C的温度。这样可以精确控制晶体生长所需的温度和压力。EP 3800单元的核心是锯切能力。该机具有两个直线级,可精确切割高精度基板。第一阶段允许精细调整切削角度,以及在俯仰和侧倾精确的角度调整。第二级驱动锯片,可以快速精确地切割样品,厚度可达30毫米。工具覆盖的基板尺寸范围为直径6至200毫米。STC EP 3800具有自动基板载荷,具有6英寸主载荷资产和8英寸次载荷模型。然后通过可调节的厚度卡盘将基板提起并在设备的刀具夹具内旋转。夹具将基板齐平固定在锯片上,并确保每一个基板都有完全笔直的切口。高级刀具夹具在切片之前也会对基板进行切口,以进行适当的索引。EP 3800中的流体冷却系统确保从基板到腔室的所有部件在操作过程中保持冷却和安全。此外,该设备还具有多种安全功能,如自动关闭和覆盖激活。一个PLC触摸屏控制面板控制所有机器操作和实际参数可以实时监控。综上所述,STC EP 3800是一种高性能的晶体生长、锯切和切片工具,为用户提供了高效的基板生产解决方桉。该资产具有精确的温度和压力控制、先进的切割工艺、可调节的厚度卡盘和PLC触摸屏控制面板。机载流体冷却模型还确保设备和基板在操作过程中的安全。
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