二手 STC L155 #9131582 待售

製造商
STC
模型
L155
ID: 9131582
晶圆大小: 22"
Saw, 22" Power supply: 235 / 208 V, 20 A, Single Phase 440 V, 3-Phase.
STC L155是一种革命性的晶体生长、锯切和切片设备,它结合了清晰光度级晶体生长的力量和锯切和切片技术的精确度和多功能性,为光学活性材料的加工提供了完整的解决方桉。该系统基于L155系列的两轴设计,采用两种激光器,一种用于切片和切割的CO2激光器,另一种用于晶体生长的​​氙激光器。该单元设有三个中央加工室:一个生长室、一个金刚石丝锯切单元和一个晶体切割单元。生长室设计用于控制和优化一系列材料的光学级晶体生长,如砷化氙(GaAs)、硅(Si)、磷化铵(InP)等。该腔室配有实时生长速率调节双侧加热机、晶体质量监测传感器,可进一步连接工艺控制计算机,对生长状况进行最佳控制。金刚石钢丝锯切装置是为金刚石钢丝在生长的晶体上快速、精确地划线而制作的。激光划线工具通过高精度电微米驱动器驱动,精确到0.05 µm。该单元还包括一个金刚石线型张紧器和减速器单元,用于精确控制线型张力和精确运动控制。晶体切割单元是为晶体的精确切片和切割而设计的。它配备了一个自动激光引导和控制资产以及一个计算机控制的机械臂,用于精确操纵晶片。该模型可用于切片、切割、研磨和抛光操作。此外,设备还配备了两个较小的工艺室。其中一座装有一套高温炉,用于生长后退火和晶体子结构调谐。第二室为低温化学蚀刻室,可用于晶体平面化。总体而言,STC L155晶体生长、锯切和切片系统是光学活性材料加工的一个通用、精确的单元。凭借其双轴设计、先进的工艺室以及集成的计算机控制系统,该机是生产光学活性晶片的理想解决方桉。
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