二手 AMTECH / TEMPRESS TS61004 4 #293610337 待售

AMTECH / TEMPRESS TS61004 4
ID: 293610337
LP-CVD System.
AMTECH/TEMPRESS TS61004 4是一种用于各种半导体应用的扩散炉。用于热加工和扩散广泛的材料,包括金属、电介质、陶瓷、复合材料和合金。该炉采用垂直石墨壁容器,内部CF4/S氢气。该炉能够达到300°C至1200°C的温度,并且能够快速热处理。它利用了一个使用强制对流的热量分配系统,与位于炉底的钼热元件,与容器壁上的石墨元件耦合。此设计可确保整个样品的温度分布均匀、可重复。加热元件还设计用于减少样品在扩散过程中的氧化和变形。AMTECH TS61004 4配备了温度控制器,可实现高达1°C的精确且可重复的温度读数。它还具有温度警报系统,以提醒用户注意任何危险,如气温升高或大气压力较低。这为用户提供了充足的警告,并允许他们根据需要调整扩散过程。炉子还装有冷却阀,让炉子快速安全冷却。冷却阀和强制对流系统的结合确保了快速冷却过程。TEMPRESS TS61004 4扩散炉还包括附件和工具,以确保过程中的准确性和安全性。其中包括一个样品支架,以确保所处理的样品安全和稳定,以及一个压力监测仪,以确保容器内的压力保持在安全操作参数之内。综上所述,TS61004 4是一种可靠、可重复、高效的扩散炉,产生高质量的效果。它具有多种附加功能、附件和工具,能够以最低的风险和最高的精度实现安全、准确的扩散过程。
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