二手 ASIA NEO TECH NCO+IR-0870C #293643808 待售

ID: 293643808
Furnace.
ASIA NEO TECH NCO+IR-0870C是专门为原子层加工而设计的高规格扩散炉及配件。它能够在高达1000 °C的温度下进行广泛的退火、氧化和抗氧化处理。它包括一个NCO-IR(带红外加热器的近接触式氧化炉,Near Contact-type Oxidation Furnace with Infrared Heater),允许在受控氮气的大气中快速加热和冷却,以便在原子层水平上进行氧化,而样品之间由于大气干扰变化不大。不锈钢室还配备了可打开的顶盖,允许快速进行样品变更和测量。此外,NCO+IR-0870C采用了特殊的双室设计,内室内部为扩散过程专用控制。腔室还配有石英腔盖,不仅提供绝缘效果,还保护样品免受大气和热辐射的电阻加热。加热元件本身可以在交流和直流电流操作之间切换。腔室本身还配备了几个安全特性和过温防护。NCO+IR-0870C扩散炉及附件也是为了与自动晶圆传输系统兼容而设计的。加热的石英室和装载臂,以及样品室被设计成易于与自动晶圆传输和装载系统集成,从而在加工过程中实现精确的重复性。扩散炉的精度和可重复性取决于对室内大气和温度的仔细控制。NCO+IR-0870C利用坚固的控制组件,允许在设定温度的3°C范围内对大气进行精确和可重复的加热,并在从室温到1000°C的各种设置范围内进行温度稳定和调节。NCO+IR-0870C设计用于可靠、精确的原子层加工,是研究和生产复杂、精确材料组合的理想选择。精确和可重复加热的结合,加上出色的氧气控制,使其成为无与伦比的精确度制造材料不可或缺的工具。
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