二手 ASM 250 #9237803 待售

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製造商
ASM
模型
250
ID: 9237803
晶圆大小: 4"-8"
Horizontal furnace, 4"-8" (4) Tubes EG Process: (3) Tubes up to 800°C Annealing: Tube up to 1-100°C.
ASM 250是一种先进的扩散炉及相关配件.它能够为太阳能电池、电池和超导体等应用高效、安全地扩散材料。它能够处理尺寸不超过2英寸的基板,并控制21°C至1050°C的气体扩散温度。是适用于工业、学术、研究中心应用的强大设备。250由两个组件组成:一个控制单元和一个电源驱动单元。控制单元负责控制扩散温度、气体流速、供应线压力等工艺设置。它还具有用户友好的LCD界面,方便控制可编程气体溷合流、温度控制和其他重要参数。动力驱动单元提供在扩散炉内部创造所需环境所需的加热和冷却动力。它有两种版本:高温额定系统和低温额定单元。高温额定机能够提供高达1,550 °C的最大供电电流为150 VDC,而低温额定器可提供高达850 °C的最大供电电流为100 VDC。ASM 250还包括几个可选配件,如用于样品快速冷却的淬火资产、用于增加安全性的阻燃剂模型,以及用于在扩散过程中保持样品周围气体的基板支架。此外,一个多通道气体溷合模块、外部气体采样端口和基于盒式磁带的样品引进系统也可用于250。最后,ASM 250还提供了广泛的附加服务,如售后支持、培训和软件工具。这有助于用户优化其操作并维护其设备以实现长期可靠的操作。
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