二手 ASM A 400-C #9356784 待售

製造商
ASM
模型
A 400-C
ID: 9356784
晶圆大小: 8"
LPCVD System, 8" (1) Сhamber Nitride Reactor (30) Lot Carousels (125) Cassettes Temp controlled flanges Water cooled particle trap Wafer counter mounted on wafer handling robot Chemical filters for WIP and WHR section Low stress nitride tool Boat rotation Gases: SiH2Cl2, NF3, NH3.
ASM A 400-C是一种先进的扩散炉和辅助设备,旨在提供高效可靠的热处理。该系统能够快速准确地加热金属、合金和其他材料,温度可高达2000 °C。炉子配有电子反馈回路,有助于控制和维持整个热循环的最佳工艺条件。400-C还具有用户友好、易于使用的界面,允许简单地导航其所有特性和功能。ASM A 400-C的设计目的是提供广泛的温度范围,以适应各种材料。其温度范围在100至2000°C之间可调,工作体积在155至1760立方厘米之间,允许更大的工件和改进的温度控制。一个400-C还设有一个电风扇,用于在整个炉子内均匀分配热量.此设计有助于避免任何局部热梯度,从而产生更一致和稳定的热过程。此外,其强制空气冷却模式有助于最大程度地减少超调,确保准确高效地完成所需的热循环。该装置还具有一个高精度的数字恒温器,可以为精确和可重复的热循环编程。这样既可以方便地监测和控制温度,又可以长期重复热循环。该炉还配备了温度报警器和排气扇机,有助于确保安全、人性化的操作体验。为了确保准确的工作材料和延长生命周期,ASM A 400-C设计具有专门的安全特性。例如,其上部加热元件和陶瓷加热元件由温度控制器以及二次超温检测模块保护。此外,它的气隙通风工具有助于防止热积聚,使清洁和维护更加容易。400-C扩散资产还包括各种安装和操作配件,使操作和维护成为一种微风。例如,它配备了一整套陶瓷、真空和燃料装载配件,确保热过程可靠和安全地运行。其综合安全模式还包括应急锁、自动关闭、过温控制系统、安全指标等。总体而言,ASM A 400-C是一种先进、可靠的扩散炉及辅助设备,提供高效、一致的热处理。该系统具有高精度的数字恒温器、宽广的温度范围、多种安全操作特点,非常适合方便、准确地处理各种材料。
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