二手 ASM A 400 #9015529 待售

ASM A 400是ASM International生产的扩散炉及相关配件。该炉的设计目的是在热过程中提供高度的温度控制，并在过程应用方面提供最大的灵活性。适用于广泛的应用，包括热辅助和氢助助化学气相沉积（HACVD）、热氧化、低压化学气相沉积（LPCVD）、高温环形快门退火（HTASA）、半导体。ASM A400由主外壳、多功能电源模块和垂直腔室组件组成。腔室组件包含原子力显微镜（AFM）和石英晶体测量（QCM）的八列。主单元是垂直固定的绝缘单件模块,单个可移动顶部。它包括一个单侧数字控制器和两个易于调节的气体控制和冷却开关环路。电源模块有数字电流-电压-时间控制器和两个冷却系统，强制空气设备和水冷系统。垂直腔室包括可选的RF （RF）匹配网络和加热电缆或膜锁存器。A-400还具有一系列安全机制，如在炉内保持安全压力水平的减压机，以及在超出高限设置情况下预防灾难的关闭和紧急关闭系统。炉子配有两步冷却工具，通过柱子循环空气，周期性倒流，防止形成热点。这样可以确保整个炉子的温度分布均匀。ASM A-400还具有各种可用于流程或用户自定义的附件。这些配件包括环形快门控制器，用于控制光圈大小、快门速度、温度和HTASA的点火控制；加热元件热电偶和炉膛热电偶，用于监测温度；和真空进给通路，用于真空控制。总之，A400是一种功能强大、用途广泛、可靠的扩散炉及相关配件。它能够提供精确稳定的性能，适用于半导体行业的各种应用。它配备了一系列安全机制，以最大限度地提高用户的安全性，并易于定制与可用的配件。