二手 ASM A 412 Doped Poly #9359390 待售

ASM A 412 Doped Poly是一种扩散炉及附件，设计用于在半导体器件的制造中提供预掺杂外延。它装有两个6英寸的石英管烤箱，温度可在200至1500 °C之间调节。该炉还设有独立的温度控制、单级温度坡道、可调反应压力、掺硼多晶硅加热器、机械和电子快门组件以及供电设备。A 412在技术特性上特别通用，专为快速给药挥发性掺杂剂如GFSI、BPSG、砷、磷、硼、磷、她的应用而设计；至气源冷却,以获得更快的热响应；以单向CVD和氮化物薄膜沉积。掺硼多晶硅加热器保证最大效率，传热均匀，热循环快速。通过使用单级温度斜坡系统，可以调节反应压力以增强或限制汽化，从而限制挥发性掺杂物的逸出量。其机械和电子快门组件允许完全关闭后压，防止任何异物进入上游反应室。此外,A 412的电源单元提供的功率范围从0-100%不等,其中0%被考虑关闭,100%被认为是"高功率"。通过这种设计,您可以轻松地将功率调整为通用常数,使其成为那些需要高温和特定功率输出的应用程序的理想选择。简而言之，A 412掺杂聚合物是一种外延扩散炉，具有丰富的特性，旨在促进挥发性掺杂剂的快速掺杂。其可调温度范围、单级温度坡道、可调反应压力、掺硼多晶硅加热器、电源机以及机电快门组件，使其成为半导体器件制造中预掺杂的完美解决方桉。