二手 ASM A 412 #293652798 待售

ASM A 412是一种坚固可靠的扩散炉和配件，设计满足各种生产需要。这种扩散炉非常适合单层或多层的应用，最多三个器件和晶片，以及提供斜坡上升和均质化的能力，以最佳的均匀性和工艺性能。设备配备了最多四个独立的供热区和强大的对流风扇控制，以保证快速的温度斜坡上升时间。它还配备了一个集成气体分配系统，设计用于输送精确的气流，以精确控制和均匀地扩散过程。该扩散炉采用过温保护和刀刃加热空气装置等综合安全特性，提供先进的扩散沉积工艺，沉积速率变化最小，基板变形最小，工艺均匀性优化。该机还包括热电偶控制和包括压力、真空、热循环和基于时间的参数在内的一系列工艺参数，从而实现了高度的工艺重复性和控制性。该工具还提供了一个用户友好的高级流程控制器,具有简单的图形用户界面和易于编程的命令,从而最大程度地简化操作。利用这些特性,ASM A412是涂层膜和层从氧化物到铜的高质量扩散工艺以及各种其他精密涂层应用的理想选择。