二手 ASM A 412 #293752528 待售

ASM A 412是为大批量制造半导体器件而设计的扩散炉及配件。它利用先进的水平强制空气模式进行样品装载或卸载。炉室为钼涂层，最多可容纳8个4"晶圆、4个8"晶圆或4个12"晶圆。该室还具有快速冷却模式，以充分利用所有可用的沉积时间。脉冲周期恒温控制系统的最高温度为1,200 °C,精度为± 5°C。这确保了统一、优质的性能。ASM A412具有一个氧化区，能够提供氧气、氙气和氮气的气氛。这提供了对植入物种类、掺杂剂和氧化物的优越控制。该系统由一个30kW的交流产品和一系列用于燃气箱和通量箱的电源供电。通量箱控制加热的钯丝，质量流控制器有助于维持基底温度峰值。一个412扩散炉能够有各种敏感开口，减少装卸时间。该设计有助于达到10°C/秒的快速温度速率。适用于需要快速冷却晶片的工艺，如LOCOS和栅极氧化物地层。该单元还配备了一个基于PC的流程控制器，可存储多达11个程序配方和多达40个数据日志。操作员完全控制过程变量、温度、压力等。过程控制器通过免费的烤箱软件监控整个过程。高温保温包括真空瓶保温和冷却风扇，有助于快速冷却炉膛，降低能耗。这些冷却风扇有助于降低冷区和热区之间的温度梯度。高速提升臂有助于减少操作时间，提高吞吐量。A412扩散炉是半导体制造实验室研究、开发和生产应用的理想选择。它的设计者提供有效的温度和大气控制，加上短周期时间，使其成为生产高质量设备的完美工具。