二手 ASM A 412 #293753885 待售

ASM A 412
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 293753885
晶圆大小: 12"
Dry oxide furnace, 12" Dual ATM Oxide.
ASM A 412是为创造真空密封高温环境而设计的扩散炉。炉子配有镀金铜炉膛,使其温度能力高达1100 °C,提供高度均匀和可重现的温度。该炉还采用双壳结构,采用均匀间隔的高质量绝缘材料,热效率高,适用于物理和化学气相沉积工艺。ASM A412包括一个低功率石墨隔热罩和一个可移动的机械框架,以便于组件的装卸。它配备了一个快速作用的微处理器控制的反馈系统,可以将温度调节到1°C以内。炉子装有一个坚固的门锁,防止高温和气体逸出,以及一个用于安全和高效热交换的冷却线圈综合系统。为了增强操作灵活性和性能,A 412捆绑了许多可添加到基本设置中的可选附件。其中包括一条能提供液体或气态超纯气体的工艺气体管线、一个用户友好的触摸屏终端和电加热元件,以提供额外的灵活性。该炉还配有一个可移动的熔炉和一系列的熔炉材料,如石墨、石英、氧化铝和类似材料。此外,A412还提供其他功能,例如方便的并排泵送端口和靛蓝体积控制器套件。这些特性保证了炉子以完全稳定可靠的方式运行,同时提供最佳性能。为了使其更加环保,ASM A 412还有一个排气系统,以便于释放过程中产生的任何危险烟雾。总而言之,ASM A412是一种设计精良、高效的扩散炉,能够安全可靠地在材料基板制造中进行多种工艺。它的可靠性和性能质量使其成为该领域专家的最爱,这些专家已经开始依赖其外壳的耐用性和一致的温度特性。
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