二手 ASM A 412 #293753886 待售

ASM A 412
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 293753886
Furnaces.
ASM A 412是一种800升真空扩散炉及相关设备,主要用于电子工业中处理半导体器件。它是寻找可靠的大型炉的工艺工程师和生产设施的最佳选择。该炉由一个带有陶瓷绝缘材料的不锈钢外壳和一个内室和一个用于加热的钼元素组成。外壳有一个双夹套室,用氮气加压防止加工气体氧化。炉子配有内部气体溷合歧管和石英管,以及与所用的工艺气体兼容的带有盖子的石英crucible。炉温通过固态继电器控制器精确控制,可设置在15C和1000C之间。炉的功率由10kW调节至800kW,并配有四个可独立调节的独立加热器。ASM A412在非常高效的传热、整个腔室的温度均匀以及工艺大气纯度的最佳水平方面提供了卓越的性能。炉子的工艺通用性通过单程组合几种工艺气体而进一步增强,同时还具有特殊的气体回流歧管,使气体的分压得到调节。除了其令人印象深刻的一系列特性外,A 412还有几个安全特性,如防止超压的压力安全阀、防止自燃的火焰探测器和压敏泄漏探测器。它还具有针对电源系统、压力和温度水平、电气过压和过载的保护警报系统,以在这些参数中的任何一个超过某个预设水平时向用户发出警报。A412是一个令人难以置信的可靠炉,提供卓越的性能和令人难以置信的用户友好。这使得它成为寻找可靠、大型扩散炉的工程师和生产设施的完美解决方桉。
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