二手 ASM A 412 #9076841 待售

ASM A 412
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9076841
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Nitride/Ar poly LPCVD dual thermal vertical furnace, 12" (2) Load ports Side 1: Configured for pCVD TiN deposition Side 2: Configured for As doped Poly HiK Mainframe: MSC3 maintenance screen Genmark GB4S back end robot 28 FOUP carousel capacity Does not include: Pumps or abatement Process chemical cabinet Quartz/tubes 2007 vintage.
ASM A 412是一种扩散炉及附件套件,设计用于制造高级半导体材料。扩散炉由一个可被加热到1300度的大气控制烤箱室组成。该设备包括一个高度精确的气体控制器,能够向炉子提供一致的惰性气体流动,以尽量减少氧气和水分水平。扩散炉还包括一个气密真空系统,旨在减少空气暴露,并为所需材料的应用创造一个高纯度的气氛。扩散炉还具有固态加热元件,旨在最大限度地减少能耗,保护设备不受干燥影响。加热元件可通过控制面板轻松调节和监控。该面板还具有温度控制设置,以实现材料的一致、准确扩散。除炉子外,ASM A412套件还包括一系列附件,以确保最佳性能。包括一个等离子体蚀刻器,以清洁和准备所需的应用的腔室,而层压机确保均匀的扩散速率和高产率。真空泵还包括用于脱气操作的真空泵,而升降锁门机构则在维护过程中固定腔室。412的高级控制面板允许自动操作,并且可以编程为所需的应用程序提供最佳温度、时间和间距。此外,控制面板还设有过热、低气压等问题的报警功能,确保安全,减少潜在停机时间。该机的高性能滤波器还确保了最佳气体扩散和调低比。A412扩散炉及附件套件是制造符合严格工业和安全标准的高质量、高级半导体材料的理想选择。凭借其内置的功能和精确的控制工具,资产将提供可靠的性能和一致的结果。
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