二手 ASM A 412 #9097361 待售

ASM A 412是由多个部件组成的扩散炉及附件设备。设计用于掺杂剂扩散、晶圆氧化、热加工快速等半导体制造应用。扩散炉是一个大的圆柱形真空室。腔室具有可变宽度,可容纳600毫米以下的晶圆尺寸。该系统利用专有的横向加热和均匀性技术，在晶圆表面形成均匀的温度剖面。该炉还包括一个真空测量单元，以及用于设定工艺参数和监测工艺数据的控制。ASM A412机还包括许多附件。腔室中的转盘便于一次装载和卸载最多四个晶片的晶片载体。机器人手臂支持将晶片引入和移出腔室。机器人臂使用专有设计的光学跟踪工具，以确保晶片的精确定位进行处理。412资产具有多种功能和选项,可确保可靠和安全的性能。集成的安全互锁模型允许在处理过程中检测到错误或不规则性时关闭设备。装有水冷水槽，以便从室内抽取热量，并确保温度保持在允许的范围内。该系统还包括一个自动气体流速和定序单元，这保证了氙气和其他气体以正确的速率输送给应用。PROCEASE Fusion 2软件包随附A412台机器,提供了一个用户友好、直观的图形界面,用于设置流程参数和监控刀具性能。集成软件控制模块提供远程访问,允许从任何位置进行资产控制。软件还包括高级选项,例如自动化模型,可用于自定义特定流程的配方。ASM A 412扩散炉及附件设备设计方便,性能优化.该系统具有较高的可靠性，与同类的其他扩散炉相比具有较高的可重复性。该扩散炉具有综合的控制功能、改进的热均匀性和方便的软件包，是许多半导体应用的理想之选。