二手 ASM A 412 #9114673 待售

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ASM A 412
已售出
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9114673
晶圆大小: 12"
Vertical atmospheric furnace, 12".
ASM A 412是一种自动扩散炉和硬件设备,用于应用扩散和合金化过程.这种通用工具是为金属和合金的高温扩散而设计的。ASM A412提供了晶片、芯片或小样品等预制材料的均匀、可重复扩散过程所需的卓越性能和可靠结果。412由高性能控制器控制,该控制器具有集成的软件,使用户能够为每个扩散阶段定义所需的参数,从而使整个过程更加轻松快捷。该软件还使用户能够根据晶圆的精度要求自定义其扩散参数。此外,A412还配备了一个自动冷却系统、一个集成的气体浓缩装置以及一个车载温度和压力监测机器。该炉采用精密设计的电线驱动主电缆,采用强大的偏转机构来保持晶片对准,保持晶片与炉间隙的一致性。这与不锈钢外壳的出色导热性能一起,确保热量均匀分布在整个晶片上。此外,该控制器还提供高精度的电源数字PWM控制,可精确控制温度、大气和高级工艺算法。该炉还配备了一个精确的压力控制工具,根据温度对炉内的总气体压力进行监测和调整,以及一个排气资产,用于过滤和回收多余的加热气体。排气模型过滤出杂质,进一步确保晶片接受一致、纯化、安全的热处理。ASM A 412是一种耐用可靠的设备,可以支持高精度材料的扩散过程,包括各种陶瓷、金属或合金。该系统还包括几个辅助最优性能的附件,例如一个氙气入口、防护屏蔽以及一个用于监测和控制扩散过程的温度测量硬件。总之,ASM A412是一个自动扩散炉和硬件单元,提供高效、一致、精确的金属和合金材料扩散。这种可靠的工具专为高温扩散而设计,具有出色的导热性能、高精度的PWM控制以及定制和自动化的冷却工艺功能。伴随着几个附件,A 412非常适合需要高精度和精确度的扩散过程。
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