二手 ASM A 412 #9114674 待售

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ASM A 412
已售出
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9114674
晶圆大小: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12".
ASM A 412是为生产扩散半导体材料而设计的扩散炉及附件包装。它用于在材料上沉积各层,以提供提高导电性和热阻等改进性能。该套件包括一个0-50 kW的电源、一系列三个独立的炉区(最高1000 °C,有独立的热区和独立的排气系统)、气体输送和控制系统、安全组件以及为延长扩散过程寿命和效率而设计的多种组件。电源为三个不同的炉区提供不同程度的功率,让使用者在各种材料上达到不同的扩散效应。它还配备了温度和压力传感器,以准确监控过程,防止氧气过热或危险水平。气体输送和控制系统安全地输送和准确地溷合扩散过程所需的气体。此外,它还配备了压力和流量控制阀,以调节过程并提供准确的流量控制。ASM A412附件包包括各种安全组件,以帮助防止气体或其他有害物质在扩散过程中意外释放。其他组件,如清除和释放阀、保护毯、灭火系统以及紧急关闭和排气阀,进一步保护操作员免受任何潜在危险物质的侵害。包装还包括延长扩散过程寿命和效率的组件。这些组件包括冷却套,以帮助减少热梯度并保持所加工材料的质量。还包括热屏障,以最大程度地减少热损失,并最大化对材料的扩散效应。412扩散包是在受控和安全的扩散过程中达到所需结果的理想工具。它结合了动力和安全部件,是生产扩散半导体材料的完美解决方桉。
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