二手 ASM A 412 #9205124 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9205124
晶圆大小: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: NITR
General specification:
Heater element: MRL
Process condition: NIT
Maximum operating temperature: 900c
N2 Load lock
Production wafers: (100) Pieces per boat
Boat operation:
Dual boat
Dual chamber
Furnace:
Loading area light: White
Force air cooling system: Fast ramp
Side maintenance
O2 Density control: 0-100ppm
Furnace temperature controller: MTC
Wafer / Carrier handling:
Carrier type: 12" FOUP
Carrier stage capacity: 12" FOUP
Robot type: GENMARK
Gas distribution:
IGS Maker / Type: FUJIKIN
IGS MFC Maker / Type: HORIBA
IGS Press transducer maker / Type: MYKROLIS
Exhaust specification:
Vacuum gage:
10 torr: MKS
1000 torr: MKS
Main valve: MKS
Pump maker / Model: EDWARDS 1800HTX
Low vacuum valve: MKS
Trap: ASM
Vacuum pressure controller: MKS
Reactor:
Outer / Inner tube material (LP): Quartz
Inner tube yype (LP): Quartz
Inner T/C: TYPE-R LPC /Topco
Boat materail/Type: SiC
Boat rotation
Pedestal material / Type: Quartz
Auto shutter
User interface:
Operation panel: Screen
Indicator type: Touch panel
Operation system: Windows
Dry pumps not included
Power:
Voltage 3Phase: 480VAC
Voltage single-phase: 3
Frequency: 60Hz.
ASM A 412是一种扩散炉及附件，常用于半导体工业生产半导体晶圆。该炉由一个高功率、气密、温度控制的腔室组成，该腔室与多种气源相连，包括氮气、氧气和氢气。腔室还装有石墨衬里和加热元件，其温度范围很广，由腔内温度控制器控制。该室还具有多种安全特性，如压力释放阀和报警器。气源随后通过电磁体气体歧管与炉子相连，该歧管调节和控制气体的流动，使它们能够根据需要精确地进入炉子。气体然后经过多个加热元件，在那里加热，然后进入主炉房。在腔内时，气体被加热到特定温度，这取决于加工的工序类型和正在加工的晶圆。加热的气体随后通过石墨衬里扩散到晶片上，根据需要沉积薄膜涂层或其他层。许多附件也可用于ASM A412,包括负载锁、温度控制器和其他各种类型的附件。载荷锁有助于在装卸过程中将晶片保持在严密控制的环境中，而温度控制器则允许精确控制气体温度，确保更好的效果。还有多种其他配件可用，包括石英加热器、计算机控制系统、晶圆处理设备。总体而言，A 412是一种先进的扩散炉及配件，广泛应用于半导体工业，以创造各种工艺和产品。该炉配备了多种安全和控制特性，以及用于精确控制工艺的多种配件，能够产生高度可靠的结果。
还没有评论