二手 ASM A 412 #9211212 待售

ASM A 412
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9211212
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Dual ATM oxide, 12" 2007 vintage.
ASM A 412是一种最先进的扩散炉及配件,旨在满足各种材料退火和扩散的最高行业标准。这台多功能机器能够在600°C至1200°C之间运行,即使是要求最苛刻的应用程序也能提供出色的温度均匀性和可重复性。超大的腔室使其成为处理大型基板的理想之选,先进的自动化实现了快速的温度循环和精确的控制。坚固的设计包括耐用的不锈钢腔室、绝缘陶瓷和计算机控制的泵送,以确保清洁安全的环境。对于退火,ASM A412包括可调节的加热功率输出,可达到1200 °C的最高温度。先进的J型热电偶可确保精确的温度读数,而大型风扇冷却加热器可在长退火周期内实现更快的温度均匀性和稳定性。此外,不锈钢室和独特的电炉设计,允许精确控制大气在很大范围的压力和成分。这使得退火过程具有很大的灵活性和均匀性。对于扩散,A 412包括载气和反应性化学物质的可调溷合物,允许精确掺杂或完美表面钝化。通过优化气流、压力和温度参数,可以定制流程以满足任何客户的要求。此外,该机还包括一个高温计和先进的双PID自动调谐控制器,以提高精度来测量和完善扩散过程。由于A412是为晶片级加工而设计的,它的组件允许仔细处理细腻的基板。前门开到180o,使得晶片能够从安全的姿态装卸。此外,机器通过定期自动排入大气层来保持清洁,手动纹理化确保表面清洁和一尘不染。总体而言,ASM A 412的性能和特性使其成为业界领先的高端退火和扩散应用程序工具。其超大的腔室、可调节的加热能力、先进的自动化和精确的大气控制,即使是最苛刻的应用也能实现前所未有的精度和可重复性。
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