二手 ASM A 412 #9241886 待售
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ID: 9241886
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2011
Vertical LPCVD furnace, 8"-12"
Dual SiN process
CE Marked
2011 vintage.
ASM A 412是由ASM International开发的扩散炉及配件。它用于金属和材料的大规模扩散,使用户可以达到他们想要的表面条件或性质。高温环境和先进的熔炉设计使得这是一种经济高效的方法来创建一个均匀的材料层,比如一层薄薄的扩散材料。ASM A412是一种紧凑型扩散炉,可加热至2,500 °C,并带有自动温度控制器。这样可以在几分钟内进行精确的温度调整和精确的处理。该炉还具有进行快速加热的能力,最大加热速率为5°C/min,最大冷却速率为200 °C/min。系统具有大而可调的腔体体积,高度从55mm-310mm不等,以容纳不同尺寸的样品。412扩散炉还配备了特殊的安全特性,例如内置深色滤镜的窗口,可以观察样品,消除热辐射的可能反射。此外,它还具有过温保护,以避免熔化或其他危险的风险。炉子配有一系列配件,如石英盘子、特殊的crucibles和热电偶。后者允许精确的温度读数,而前者则确保加热的材料均匀分布在整个腔室。石英盘子和特殊的crucibles都有不同的形状和大小,不同高度的样品。综上所述,A412是一种可靠高效的金属材料大规模扩散扩散炉。它具有广泛的安全功能,并配有一系列附件,可实现精确的温度读数甚至加热。
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