二手 ASM A 412 #9281043 待售

ASM A 412
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9281043
晶圆大小: 12"
Vertical furnaces, 12" Oxide process.
ASM A 412是一种扩散炉,广泛应用于硅片等优质半导体材料的生产。这种炉是专门为执行称为外延的气流扩散过程而设计的,常用于半导体制造和研究设施。ASM A412由几个组件组成,包括烤箱室、加热元件、氮调节器和压力控制设备。烤箱室由硼硅酸盐玻璃制成,可承受高达1100 °C的温度。加热元件由钼和钨构成,在300至700°C的温度下操作。氮气调节器用于控制烤箱中的压力水平,确保温度在整个扩散过程中保持一致。压力控制系统可确保压力水平保持在特定范围内,从而允许精确控制环境。412还具有先进的控制单元,包括精确的测量、泵机和一组计算机控制的传感器。传感器提供的测量使用户能够准确控制氮气水平、加热时间和其他扩散参数。计算机控制的泵还用于调节扩散过程中使用的气体水平,如一氧化二氮、水蒸气和氨。除烤箱外,A412还包括若干必要的附件,如气体溷合工具、排气资产和温度传感器。气体溷合模型用于溷合扩散过程所需的化学物质,排气设备用于排出作为该过程副产品释放的任何气体。温度传感器用于检测室温的任何变化,确保腔室始终保持在安全范围内。ASM A 412是一种先进的、高度精确的扩散炉,为用户的材料提供可靠高效的生产环境。利用这种扩散炉,可以快速、准确地生产出高质量的半导体材料。
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