二手 ASM A 412 #9354370 待售

ASM A 412
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9354370
晶圆大小: 12"
Furnace, 12" Type: G-OX and poly Bottom reactor Top WIP Bottom WIP Top reactor WIP Spindle Panel cover Power box Heating element R1 Heating element R2 Blower R1 Blower R2 PP Box Door plate Top carousel Bottom carousel UPS.
ASM A 412是一种主要用于金属涂层、半导体和其他相关工艺的扩散炉。ASM A412通常设计为在1050°C至1250°C的范围内运行,并且能够在± 3°C的范围内实现非凡的均匀性。该设备还具有温度上升和下降以及预热功能,有助于确保无间隙和无间隙界面层的稳定、均匀和可靠的增长。412配备了一个八端口扩散室,具有多达五个独立控制的端口。这使传感器和其他支持仪器能够完全进入、测量温度并为增长创造最佳条件。电源可高达40 KW,以便在短时间内达到最高温度。A412还有一个多区域补偿系统,能够通过控制各种组件来稳定整个过程中的温度。ASM A 412还具有集成冷却装置,以确保炉子的寿命和耐用性。这种冷却机有助于降低温降,保护内部部件,从而延长炉的使用寿命。其他功能包括卓越的温度保护工具,它允许在过程中对可能过热的组件进行热保护。ASM A412还提供了广泛的附件和功能,旨在优化扩散过程。这包括一个自动调谐辐射笼,先进的运动模块,气体歧管系统,以及一个单一触摸屏界面的控制板。为了安全起见,A 412还配备了用于检测过热部件的热电偶,以及用于冷却扩散室的高压鼓风机。总体而言,A412是一个可靠而坚固的扩散炉,能够达到均匀的基板温度。它是涂覆金属、半导体加工等相关任务的理想选择。该炉具有先进的特点、扩展的温度保护和安全选择,是各种应用的绝佳选择。
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