二手 ASM A 600 UHV #195781 待售

ASM A 600特高压是为超高真空（UHV）的制备、加工、薄膜沉积等目的而设计的扩散炉及附件套件。它由真空室、电加热元件、电源、安全联锁、数字负载控制设备和自动沉积控制模块组成。真空室采用不锈钢结构，圆柱形设计，内径600mm。它配备了两个安装在顶部和底部的水冷冷库，有助于防止水蒸气到达基质。A 600特高压的电加热元件是嵌入Nichrome元件的硼硅酸盐玻璃管。这些Nichrome元件串联连接到电源单元，允许在真空室内精确操纵温度。电源嵌入腔壁，可以对加热元件进行绝缘和安全控制。控制系统采用数字负载控制器和PID（比例积分导数）算法,以0.1度的精度监控和调节温度。ASM A 600特高压还具有多种安全功能,旨在保护人员和设备。这些措施包括过度温度控制、紧急停止、压力安全互锁和电源锁定。此外，整个机组的设计工作压力为超高压（10^-11至10^-9大气）。这为表面制备提供了极低的污染环境。集合的最后一个组成部分是一个自动沉积控制模块。该模块允许多个沉积循环，对沉积时间和气流进行精确控制。它配备了自动初始化功能,可帮助维护对流程参数的精确控制。这确保了可重复和一致的沉积结果。总之，A 600超高压是一种可靠、通用的超高压真空机，专为沉积和涂层工艺而设计。它具有多种功能，如数字温度和压力控制、安全联锁和自动沉积控制，有助于保持准确性和可重复性。这些特性使其成为工业和实验室应用的理想选择。