二手 ASM A 600 UHV #9232052 待售
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ID: 9232052
晶圆大小: 8"
Vertical furnaces, 8"
Cluster tool controller
Touch screen monitor
Keyboard with trackball
User interface
Operating system: Windows NT
Hardware system:
Cluster platform module
Cluster platform pump module
CTC Computer cabinet
Process module
Process module pump cabinet
Reactor:
Reaction tube
Method: Single tube
Material: High-purity quartz
Heater element:
Heater wire material: Cantor wire, Ø 8 mm
Normal operating temperature: 500°C to 700°C
Maximum temperature: 800°C
Equal heat length: 300 mm
Temperature control: 500°C to 700°C ± 0.50°C
Control circuit: Cascade
Thermocouple:
(4) Zones
Inside: K-Type
Outside: K-Type with ceramic protective tube
Cooling method: Water-cooling, 2 l/min
Wafer boat:
Wafer size: Ø 200 mm
Wafer quantity: 52 Wafer charges
Material: High-purity quartz.
ASM A 600特高压是一种用于制备超高真空（UHV）样品的扩散炉。该设备由真空室、真空泵系统、炉室、可调节高度的加热器以及所有必要的控制、电源和附件组成。真空室设计为提供5x10-6 Torr的底压，从室外烘烤可达到较低的底压。腔室呈圆柱形，有两个缝隙进入加热器和样品。内部两级容纳抽水阶段，外部两级分别是加热器和样品。内部各级由一个旋转的通风阀旋转，方便进入样品。阀门打开并关闭,手动拉杆安装在腔室上,可向任一方向旋转90度。采用高真空针阀进行精细的阀门控制和精确度.真空泵机包括冷陷阱、旋转泵、扩散泵和机械、油、低温和涡轮分子泵的组合。冷捕装置用于降低疏散过程气体的分压，由位于内室的旋转和扩散泵进一步降低。机械泵提供了较高的泵送速度和油泵，对于给定的气体体积排量比例来说是一种较高的极限压力。低温和涡轮泵连接到腔室，形成一个较深的ultahigh真空。炉膛进一步装有可调节高度的加热器，用来加热样品高达1000 C的扩散过程，以及原位测量。可调高度加热器通过可编程控制器设置和控制，该控制器还控制外部连接和传感器。控制器包括内部多路复用器,可同时处理多个电气设备。加热机坚固高效，以可伸缩的方式提供高低温范围。整个工具由不锈钢构成，主腔室内径600毫米，高1500毫米。腔室包括一个观察窗口和一个真空通风口的样品。整个资产都配有底座和夹具，可以安全和方便地处理炉子。600特高压扩散炉是制备高真空样品和进行一系列扩散过程的通用解决方桉。它的可调高度加热器允许对样品加热进行精确控制，让实验者达到理想的效果，而其高质量的构造和稳健的设计确保了长期的可靠性。
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