二手 ASM A 600 #112365 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 112365
晶圆大小: 8 "
LPCVD Furnaces
UHV Vertical furnaces
Cluster tool controller
Touch screen monitor
Keyboard with trackball
User interface
Hardware system:
Cluster platform module
Cluster platform pump module
CTC Computer cabinet
Process module
Process module pump cabinet
Reactor:
Reaction tube
Method: Single tube
Material: High-purity quartz
Heater element:
Heater wire material: Cantor wire, Φ 8 mm
Normal operating temperature: 500°C to 700°C
Maximum temperature: 800°C
Equal heat length, 12"
Temperature control: 500°C to 700°C ± 0.50°C
Control circuit: Cascade
Thermocouple:
(4) Zones
Inside: K-Type
Outside: K-Type with ceramic protective tube
Cooling method: Water-cooling 2 l/min
Wafer boat:
Wafer size, Φ 8"
Wafer quantity: 52 Wafer charges
Material: High-purity quartz
Operating system: Windows NT.
ASM A 600是专门为薄膜沉积在基板上而设计的扩散炉及配件。它是一种高温炉，能够沉积不同厚度和形状的薄膜。该炉容量为600千瓦，最高运行温度为1,500 °C。它对热冲击和高温环境具有极好的抗性。温度可以在0-1,500 °C的范围内调节。600采用坚固耐用的隔热钢底座，顶置和双壁室结构的组合，节能传热系统，以及强大的固态电子控制器。集成控制系统提供了用户友好的功能,如简单的两键启动/停止键盘、用于无缝轻松操作的预编程参数、过温安全限制以及温度斜坡/浸泡功能。ASM A 600还提供多种配件，如多基板支架、单/多基板驱动器、自动进纸器和冷却技术。广泛的基板持有者和基板允许在不同的温度设置下加工各种基板。此外，集成的自动进纸器可以安全高效地装载和卸载基板。该炉还配备了冷却技术，如气体和液体冷却，以提供从高加工温度到有利于处理基板的低温的快速过渡。一个600扩散炉还包括专门的快速关闭系统，在任何紧急情况下立即停止所有操作并使炉达到安全温度。该炉还提供方便的维护和维修,内置一套功能,旨在确保一致薄膜沉积的最高精度、稳定性和可靠性。总体而言，ASM A 600是一种功能强大、可靠的扩散炉，配有多种配件，可实现高效、精确的薄膜沉积。它是需要可重复、高质量薄膜的应用的完美解决方桉。
还没有评论