二手 ASM A 600 #293595388 待售

製造商
ASM
模型
A 600
ID: 293595388
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
LPCVD Furnace, 8" Oxide 1995 vintage.
ASM A 600是一个扩散炉和配件设计,以实现卓越的性能在各种应用。该炉的工作范围为600摄氏度,配有石墨构成的扩散管、排气管和SS 316L不锈钢线圈。冷却器为反应室和工艺管提供可靠的冷却源,使该工艺能够完全控制温度。该炉配有定制控制器,能够为加热过程提供准确的参数。此外,它还有一个安全互锁设备,带有多个传感器,以及一个真空密封隔离室,用于在反应室中均匀加热。扩散炉还包括一个利用EDX系统的旋转加热单元,以确保工艺管的均匀冷却。该装置能够在静态和动态加热模式下操作,以提供最大程度的控制和灵活性。它还包含一个动态清洁机制,用于清除过程中可能产生的任何飞溅或多余的材料。除了扩散炉外,还有多种配件设备。这包括气体溷合装置、样品储存器、液压动力面板、真空压力表和操作炉子所需的其他工具。另外,该炉有一个VCR和光发射光谱仪(OES)机器,可以用来监测反应过程,以确保最高纯度的最终产物。总体而言,A 600扩散炉及配件在各种应用中提供卓越的性能.它具有可靠可靠的组件,是需要可靠高效流程的用户的理想选择。此外,它的特点和附件为希望优化炉子性能的人们提供了一个完整的解决方桉。
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