二手 ASM A400 HT #9266026 待售
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已售出
ID: 9266026
优质的: 1998
LPCVD System
Process: Oxide / Poly
Dual reactors / Dual boats
Boat rotation: Poly
(5) Temperature zones
1998 vintage.
ASM A400 HT(高温)是一种先进的扩散炉及附件,用于制造光电、MEMS、纳米技术和光伏等应用。这种类型的熔炉利用强大的石英管进行高达1300 °C的高温加热,设计用于所有样品批次的最高温度均匀性。A400 HT还具有一个有源温度控制系统,可以进行精确和可重复的温度规划。其大气控制系统包括维持高纯度气流的低排气设计,是高温焊接烧结或反应性大气的最佳选择。ASM A400 HT利用红外高温计进行快速可靠的温度测量,并包括可选的完全自动化功能和定制的PC工作站。它还具有特别设计的墙面隔热材料,降低能耗,而其清扫的非浸入式加热元件提供高效均匀甚至加热功率输出。该设计还有助于减少气流湍流对颗粒的污染。A400 HT先进的主动温度控制系统提供了多种功能,包括编程多达十二个段和四种不同的温度上升方桉。这样可以对复杂的温度剖面进行精确和可重复的温度规划。此外,快速释放门锁可在装卸样品时提供方便和安全。它的低气体设计还确保了高温下气体的最佳流动,在各种大气中提供了可重复和可靠的过程。ASM A400 HT非常适合依赖于高温和均匀扩散过程的一系列研发应用,如光电子、MEMS、纳米技术和光伏电池。它提供了可靠、可重复的过程,在所有样品批次中均具有最高温度均匀性,并具有广泛的自动化功能,可实现精确的温度编程和控制。
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