二手 ASM A412 Doped Poly #9244651 待售

ASM A412 Doped Poly是专门为掺杂多晶硅生产而设计的高温扩散炉。它提供了高达1475°C的最高工艺温度和± 3°C的高温均匀性,确保了过程中的最佳捕获和温度控制。先进的PID（比例积分导数）控制技术确保了对界面温度的准确监控。强大的热管理保证了晶片的快速和均匀加热，直径达到4.5英寸，提供均匀的掺杂剂扩散和改进退火质量。准确控制整个设备中气体流动的能力确保了气体在腔室中的最佳分布，从而实现了安全高效的过程。A412 Doped Poly配备了一系列配件，包括水冷、同轴石英管、石英船装载机、加工晶圆装载机、不锈钢退火室和气体检测系统。气体检测单元是一个综合组件，用于监测退火室中的气体水平，确保任何危险副产品的安全，而晶片装载机则在不锈钢退火室和受控环境之间安全地转移晶片。此外，水冷石英管的设计是为了对气体入口进行最佳的隔离和冷却，以补偿任何导热系数，改善传热，从而提高整体加工时间。总之，ASM A412掺杂聚乙烯是一种先进的扩散炉，设计用于掺杂多晶硅的生产，提供高达1475°C的均匀加热。包装有气体检测机、晶片装载机、石英船装载机、水冷石英管等特点和配件，确保气体的高效、正确流动，安全、均匀、快捷。使用A412 Doped Poly,用户可以在均匀掺杂剂扩散的情况下实现高质量的退火。