二手 ASM A600 UHV-CP #9239202 待售
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ASM A600 UHV-CP是为半导体制造提供高温退火、反应性气体退火和高真空退火工艺的扩散炉及辅助设备。它是为包括但不限于沉积、退火、加上蚀刻和离子植入等应用而设计的。该系统由高温扩散炉为主体，以及多区气体输送单元、晶片装卸附件、真空泵、真空计、热质谱仪组成。扩散炉由超高真空电炉加热。该电炉具有一个均匀的温度区，以确保整个晶片的温度一致，在多达四个独立的气体区和两个独立的加热区中具有可调的温度分布。它还包含一个可编程控制器，可以存储多达32种不同温度和气体流量的配方。炉子在水平带可以达到高达1900°C的温度。多区气体输送机包括氮气、氢气、氨气、氙气、载气。氮可用于维持高无氧检测地址，提高氧化物质量。氢和氨可用于多种标准兴奋剂应用。氙是用来减少氧化物缺陷的。而载气可用于控制反应物种的色调和速度。工具中的真空泵由带有旋转活塞泵和冷冻泵的真空泄漏室组成。旋转活塞泵在短时间扩散应用中可提供高达25 mTorr的真空。冷冻泵最大容量为10-8 Torr，是反应性气体退火工艺的理想工具。该资产还包括用于测量炉内残留气体的热质谱仪。这确保了最佳设备和工艺性能所需的清洁纯净的炉子环境。最后，该模型配备了一个附件，用于晶片装卸和晶片支架。它具有最大的可重复性,在处理过程中易于交换晶片.总之，A600 UHV-CP是为半导体制造工艺而设计的高端炉及配件设备。该系统通过对温度和气体流量的精确控制，能够安全可靠地生产出优质晶片。
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