二手 ASM A600 UHV-CP #9239214 待售
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ASM A600 UHV-CP是一种先进的高真空扩散炉和附件，为在半导体基板加工方面的广泛成就而设计。A600 UHV-CP采用单区冷壁加热涡轮泵、电导加热热壁涡轮泵和专利双区灭火室，为高真空扩散提供卓越性能。冷壁涡轮泵将分批腔内的真空压力降低到小于0.001 Torr，流量高达20升/分钟。热壁涡轮泵以集成的感应加热元件，在低压下有效地扫过颗粒和掺杂剂的批室。利用双区灭火室，可以在扩散过程中快速灭火样品。ASM A600 UHV-CP提供了广泛的过程控制参数,可以根据客户对温度升高、样品冷却和控制扩散气氛的需求进行调整。该系统还包括一个远程机器接口，用于通过本地网络监控和控制扩散过程，以及一个收集和显示过程数据的数据采集系统。A600 UHV-CP是一种集成系统,它提供了实现卓越结果所必需的高精度、均匀性和可重复性。ASM A600 UHV-CP结合了强大的设计、先进的特性和精密的监控系统,成为用户寻找可靠高效的高真空扩散炉及附件的理想选择。
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