二手 ASM A600 UHV-CP #9249519 待售

ASM A600 UHV-CP是一种高质量、可靠的扩散炉设备，设计用于半导体制造的各种应用。该系统采用PECVD型工艺对晶圆和其他基材进行原位氧化和氮化。该装置的特点是具有双静电多口袋积液电池、高电流等离子体源和自动化、完全可配置的过程控制硬件/软件包的高真空处理室。该机器是专门为晶圆热氧化和氮化过程的均匀性和可重复性而研制的。该工具能够生产各种质量的薄膜，并且具有出色的步进覆盖范围，从而产生可重复、准确和受控的产品。该资产还具有高质量的加热模型、超高真空配置的10-8Torr基础压力、从10E-7到10E-3Torr的广泛过程压力。设备质量高，可以精确控制晶圆表面温度、浓度和稳定性、工艺时间和均匀性等晶圆氧化和氮化性能。该系统配有多口袋、双静电输液电池、自动化过程控制器、温度过程控制器、高电流等离子体源等附件，如低温指尖、夹具和气体面板，方便进行各种过程实验。该装置包括一个高速排气风扇，用于快速疏散加工作业过程中产生的气态和颗粒状废物。机器还包括一些安全功能，以确保工具在操作过程中的安全，如隔离开关（串联开槽），以防止电压波动。该资产还被设计为便于灵活使用，因为它可用于各种工艺需求，如热氧化、氮化和硅化工艺。该模型可容纳范围广泛的晶片尺寸（5-12英寸），用于硅晶片和其他基材的高效均匀热氧化和氮化。A600 UHV-CP设备非常适合各种工艺应用，如半导体晶片氧化、氮化、硅化和其他高质量的电子和光电元件制造。这种高质量的系统，其卓越的可靠性和兼容性是一个坚定的喜爱的专业用户。