二手 ASM A600 UHV-CP #9249525 待售

ASM A600 UHV-CP扩散炉是为高效生产大面积复合半导体材料而设计的。它设计用于安全可靠地加工直径不超过6英寸的基板。扩散炉设有600毫米长的加工室，配有先进的压力控制设备。腔室的超高真空（UHV）操作环境可确保清洁、低污染水平,同时确保材料的快速硝化、扩散和掺杂编码。动态压力控制系统允许精确的温度控制和快速的冷却速度.这使得晶片基板的扩散有精确的上/下时间，在不牺牲质量的情况下减少和保持总工艺时间。该炉还包括一个能够输出到25kW的加热电源，以及一个无灰的压缩消声器设计。燃烧单元为材料加工提供了非常清洁的环境，同时消除了烟雾和其他环境污染物。消声器的设计能够快速散热,不需要冷却区.此外，该炉还包括一台提供综合过程监控和安全程序的高精度控制机器。该工具包括多种接口模式和监控控制和数据采集（SCADA）,以方便地将熔炉集成到任何现有的制造环境中。集成的安全系统为操作员提供了一套全面的安全功能，电离保护资产有助于消除过程室内发生电弧和/或火花的风险。A600 UHV-CP扩散炉通过其现代化的设计和安全特性提供了显着的效率，可以很容易地融入到现有的生产线和工艺中。