二手 ASM A600 UHV-CVD #9239207 待售
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ID: 9239207
优质的: 1997
CVD System
MITSUBISHI FT-3300W-W111 Turbo pump and controller
BROOKS 001-7500-05 Robot
BROOKS Controller and teaching pendant
1997 vintage.
ASM A600 UHV-CVD是一种带有附件的扩散炉，能够生长高度均匀的材料薄膜。专门设计用于超高真空化学气相沉积（UHV-CVD）。该腔室常用于沉积金属、氧化物、氮化物以及其他材料组成的薄膜。A600 UHV-CVD采用全金属法兰设计,可在内部腔室和外部真空环境之间提供安全密封。它配有高温加热元件，可使物料从气相升华和沉积。腔室包括3个加热区，温度可从40°C调至900 °C。此外，该室还包括一个精确的温度控制设备以及允许进入现场监测和分析的端口。该系统提供了一个可直接观察沉积过程的视口和一个内置冷却装置，以便在沉积完成后迅速冷却腔室。还有一些安全功能,如超压、低压和温度过高警报,可以设置这些功能以确保沉积过程中的最佳安全性。这台机器的设计目的是尽量减少污染。它具有多种确保清洁环境的功能,如气体冲压、静态顶篷、Teflon®气体陷阱、内部抽水工具和温度控制吸气器。该室还包括一个粒子监控器，用于检测大小为0.1和更小的颗粒，以保持清洁。该室包括两个样品持有者。上部支架用于晶片和滑轨，下部支架用于尺寸较小的芯片、片断和样品。它是由高品位的不锈钢制成，旨在提供快速的热化和高精度的样品放置。该资产可用于各种材料薄膜的沉积，从而产生具有极好均匀性的样品。它配备了先进的软件和直观的用户界面，使用户能够在沉积过程中轻松控制和操纵参数。该模型是微电子学、光学、材料科学等领域研究人员的重要工具。
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