二手 ASM A600 UHV #9249518 待售
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ID: 9249518
优质的: 1997
CVD System
MITSUBISHI FT-3300W-W111 Turbo molecular pump
MITSUBISHI FT-3300 Turbo molecular pump controller
ASM
OMRON Sysmac
Digital dynamic servos and controllers
ANELVA and BALZERS Gauges
SAES PS4-MT15-N-2 Nitrogen purifier
1997 vintage.
ASM A600 UHV是一种高真空扩散炉,用于热处理应用,如快速热退火(RTA)、氧化、氮化、碳化和金属有机化学气相沉积(MOCVD)。该设备采用密封石墨室,采用气密密封和优越的耐火材料,达到超高真空(UHV)水平。腔室还包括一个可移动的石英窗,可确保最高工作温度1800 °C。该炉还包括一个产生高气压的强大鼓风机,允许在不使用任何重型昂贵硬件的情况下处理高温。这款鼓风机还配备了风冷层流系统和内置温度控制单元。A600 UHV配有许多用于高温应用的配件。其中包括真空进料通路、气体进料通路、波纹管、废水收集口、温度传感器和探针以及气体管线过滤器。所有组件的设计都能承受这台独特机器的高温和真空环境。ASM A600 UHV与允许精确控制温度、压力和其他变量的复杂软件相结合。此外,此软件还允许用户监视、记录和分析各种条件和配置的流程。软件还提供直观的图形,用于研究和分析。A600特高压扩散炉及其配件具有高温兼容性、化学惰性、寿命长等优点。它也因为密封的腔室设计而安全使用,而且能效很高。此工具非常适合广泛的研究应用,因为它可以提供高度可靠和准确的结果。
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