二手 ASM Furnace #195512 待售

ASM炉是为满足硅器件制造工艺不断发展的需要而设计的扩散炉。其低温均匀性和高精度温度控制在广泛的应用中提供了一致的加热过程和可靠的操作。这使得它非常适合制造微电子器件如MEMS器件、集成电路和薄膜晶体管。ASM炉采用先进的空气或氢气净化大气设计。这使得Furnace可以在没有氧气或二氧化硫的大气中在500°C-1200 °C之间运行。这样就可以在整个ASM炉中实现低温均匀的热量分布，从而实现高度精确的温度控制。熔炉还配备了先进的安全功能，如工艺传感器、隔热装置和隔热装置，以保护内部部件免受高温环境的影响。ASM负载锁允许均匀加热基板,同时最大程度地减少污染.在ASM炉运行期间，通过在基板进入炉子之前清除大气中的气体和颗粒，负载锁还可以防止排出气体。这意味着底物是在进入腔室之前为沉积过程准备的。ASM扩散ASM炉还包括用于温度控制的高性能步进电机.与步进电动机集成的水平设计可以精确控制沉积过程。这也可以将基板精确加热至高达1200 °C的温度,而不会造成热失控。为了提高数据精度,Furnace配备了灵敏的热成像设备.该系统记录温度读数，并允许ASM炉在需要时激活温度控制系统。先进的软件还为用户提供了扩散过程中基板热稳定性的详细分析。炉子还设计有一个加热元件，由二硅化铵（MoSi2）加热器-屏蔽组件组成。加热器屏蔽装置可保护组件免受温度升高的影响,并防止热失控。此外，ASM Furnace还配备了冷却风扇和过滤器，以保持机组冷却和不积尘。ASM扩散炉配有多种配件,可实现最佳运行.这些附件包括气体控制单元、锁载百叶窗、惰性气体供应系统、样品支撑机和排气工具。气体控制单元使用户能够控制扩散过程中使用的气体类型和大气中气体的浓度。样品支撑资产允许将基板精确放置在腔室内以获得最佳结果。