二手 ASM MIR 3000 #293639066 待售

ASM MIR 3000
製造商
ASM
模型
MIR 3000
ID: 293639066
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
CVD Furnace, 12" Chamber 2010 vintage.
ASM MIR 3000是一种可提供可靠和经济高效处理的扩散炉及附件设备。它旨在为扩散过程提供一个干净的环境。它利用高温惰性气氛,既可用于低合金和非合金钢基板的应用,也可用于金属涂层。MIR 3000具有先进的高精度电源,可确保在处理过程中输出一致和温度一致。其温度控制和精度使其易于调整至所需温度并保持最佳效率。该系统还具有快速、高精度的计算机控制传感器,可准确检测故障、故障排除和报告问题以立即解决。ASM MIR 3000旨在实现最大的灵活性和易用性。它提供了广泛的操作模式和高级控制选项,包括流程周期分析和警报设置。它还带有热分析和监测,以确保炉子不同部分温度的均匀性和准确的温度跟踪。机组拥有强大的冷却机,确保加工完成后快速安全停止。它还包括一个保护架,以便在扩散过程中安全地固定基板。该炉的设计考虑到安全性,具有紧急停止功能,机电过程互锁,以及一个监控温度和清除过程的闭环工具。为了更方便,MIR 3000配备了一系列全面的附件,包括法兰和传感器、热电偶、配件和适配器。总体而言,ASM MIR 3000是一种先进的扩散炉资产,能够提供高精度的扩散处理以及安全性和可靠性。对于合金和非合金钢基板,使用方便,价格合理,效率高。
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