二手 ASM MIR 3000 #9228941 待售

ASM MIR 3000是一种扩散炉及其附件，设计用于包括氧化物和氮化物生长在内的各种过程。配备可靠经济的供热技术、高精度的温度控制、先进的气体控制系统。MIR 3000还包括若干保护工人和设备的安全系统。ASM MIR 3000具有顶装式炉膛,其设计目的是提供最大的热均匀性,以确保一致的处理结果。它还有两个独立的供暖区，可以加热到1500 °C，从而可以根据需要在每个区内设置不同的温度。在温度控制方面,MIR 3000提供20步可编程加热配置文件,以及先进的快速热处理技术,可在几秒钟或几分钟内达到高达1600°C的温度水平,并具有快速的热循环。该炉还包括先进的气体控制系统和有助于降低气体渗透率和蒸发损失的多层气密表面。为了额外的安全，ASM MIR 3000有几个冗余真空联锁，以及红外和高温计系统来监测和帮助防止人为错误。MIR 3000可与多种材料结合形成工艺包以获得最佳效果。这种方法被称为基于体系结构的流程设计，允许操作员根据应用微调参数并自定义流程。ASM MIR 3000还与各种计算机辅助过程控制（CPC）软件程序兼容，这些程序旨在简化炉子的运行和优化过程结果。这包括各种功能,如预编程、多区域控制、过程监视和数据日志记录。总之，MIR 3000是一种高品质、用途广泛的扩散炉及其配件，专为各种工艺而设计。它提供了可靠经济的加热技术、精确的温度控制、先进的气体控制系统以及基于体系结构的工艺设计。其CPC软件支持还有助于在扩散过程中最大限度地减少用户错误并提高效率。