二手 ASM MIR 3000 #9235099 待售

ASM MIR 3000是一种开创性的低温扩散炉，专为使用Czochralski （Cz）法生产单晶硅锭而设计。它具有创新、节能的感应加热系统，具有快速冷却能力和精密的控制逻辑。它旨在提供卓越的工艺稳定性和性能,以及更统一的产品质量。MIR 3000包括一个用户友好的界面,旨在方便设置、操作和维护。它还具有自动操作功能,并对过程中的监控和分析进行一致、明确、可重现的过程。它的四个监测和过程控制系统提供详细的统计过程控制，确保特性的低变化和结果的均匀性。ASM MIR 3000最高运行温度可达2,000 °C，其热源为三相电机发电机，可在1,800-2,000°C范围内实现高效、均匀的加热。它还具有多种冷却选项,从强制芳基化冷却到80°C/分钟,再到水淬火冷却,冷却速率高达23°C/分钟。它的快速冷却能力有助于避免晶石结晶和分离。MIR 3000配备了额外的配套设备，如石英加热器、电感线圈，以及完整的温度和安培控制系统。其先进的工艺控制使得工艺时间、保持时间、加热速率等关键参数的设置和调整变得容易，从而保证了产品的高品质。其软件提供详细的流程管理数据，并允许多步骤编程和执行。总体而言，这使得ASM MIR 3000成为生产单晶硅锭的理想扩散炉。其卓越的工艺稳定性、快速的冷却能力和高效的控制系统，使其成为可靠、经济高效的生产装置。适用于研究和工业大批量生产。