二手 ASM MIR 3000 #9259684 待售
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ID: 9259684
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
CVD Furnace, 12"
Dual chambers
EFEM
XP Platform
2011 vintage.
ASM MIR 3000是为研究和生产过程而设计的高温真空扩散炉和成像设备。用于Si集成电路处理和封装器件、高温氧化、沉积、热退火、掺杂活化等广泛应用。MIR 3000是一个健壮的自动化系统,适用于实验室和工业应用,具有易于使用的图形界面。ASM MIR 3000具有双晶片功能,具有通用的执行环境,允许用户加载单独的过程配方,并通过精确的温度控制和强制冷却段的控制独立执行。它有热电堆和额外的冷壁管来监测热区的温度均匀性，其范围可达1650°C。气流可以精确调整以获得最佳均匀性，热区盖的可变定位为各种过程提供精确的压力控制。MIR 3000还具有高分辨率成像单元，板载电子束和晶片盒式磁带，多粒子探测器，内置晶片级，基于频率的晶片取向。它还配备了全套自动化功能，包括按需晶圆订购、实时过程监控、配方创建等等。ASM MIR 3000专为易于维护和可维护性而设计。它采用模块化设计,便于更换零件,其高效的冷却机因温度波动而减少了停机时间。MIR 3000还具有操作员控制的热区掺杂激活和自动压力和温度控制等众多安全特性。为确保最大程度的过程连续性和可重复性，对ASM MIR 3000进行持续监测和调整，以防止积聚过喷雾或除气残留物。它的集成真空互锁工具提供故障安全操作，其监测系统警告任何未注意到的过程故障。总体而言,MIR 3000是多种生产和研究应用的多功能强大资产。它旨在提供可靠、可靠的性能,具有高度自动化的过程以及对温度、压力和流量的精确控制。该模型的不同组件用户友好,易于在生产环境中与其他组件集成,从而使用户能够以最大的产量实现过程一致性。
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