二手 ASM MIR 3000 #9259685 待售

ASM MIR 3000
製造商
ASM
模型
MIR 3000
ID: 9259685
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
CVD Furnace, 12" Chamber 2010 vintage.
ASM MIR 3000是一种扩散炉及附件,利用红外(IR)辐射加热技术在扩散过程的所有阶段对金属进行加热和均质。它设计用于汽车、医疗、航空航天和电子工业。MIR 3000采用闭环氮流系统,确保在整个过程中精确控制温度。加热的氮流围绕金属样品和整个腔室循环,在那里均匀分布,以获得最佳的热效率。氮流使热量远离样品,保持均匀扩散更一致的温度。ASM MIR 3000还采用了PLC技术,使流程自动化并确保流程可重复性。其控制器利用具有快速采样间隔的数据采集系统,允许精确的温度控制、倾斜和停留时间。它还通过操作员界面实时提供有关过程的反馈。该单元的氧化室减少了材料样品的损失量。它在保持最佳氢气气氛并提供保护性和均匀环境的同时,将氧气从腔室中除去。这允许平滑扩散,没有任何尘埃颗粒或污染。MIR 3000具有强大且易于维护的设计,旨在最大程度地提高安全性。它利用安全盖子,通过扩散过程保持锁定,并配有排气系统。ASM MIR 3000提供从500到1400C的一系列工艺温度,每小时最多可扩散45磅。它还配有多种配件,如冷却板、装卸钳子、热电偶测量装置和碳化钨推进器。MIR 3000是一种可靠、坚固的扩散炉,适合在多个行业中扩散多种金属。ASM MIR 3000以其精确的温度控制、氧化室、PLC控制器和自动化过程,帮助优化扩散过程,以达到最大效率。
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