二手 ASM MIR 3000 #9311068 待售

ASM MIR 3000是由美国工程材料科学公司ASM International制造的扩散炉及相关配件。这种扩散炉用于生产先进的半导体元件，包括栅极和源/排水区、接触层、硅化物层和掺杂物再分布。MIR 3000在小型且经济实惠的包装中提供了卓越的可重复性。ASM MIR 3000采用独特的熔炉结构,可实现较小的占地面积,具有卓越的能效和优化的吞吐量。炉子设有两个低热质量负荷锁室，在整个过程中提供改进的温度均匀性和可重复性。MIR 3000的设计还允许更快的稳定时间和更快的循环以提高工作效率。ASM MIR 3000是为所有硅和III-V应用而设计的扩散炉。它具有高度可控的大气层，工作温度可达1150°C，并有多达6个大气输送源可用于精确的环境控制。该炉具有改进的控制渗透运动制导系统和更大的横截面面积以提高吞吐量。此外,MIR 3000还提供各种可选的呼吸口,以防止安全风险。与ASM MIR 3000扩散炉一起，ASM提供全系列的配件来满足您的所有生产需求。这些包括专门的热管理组件，如冷却臂、快门组件和绝缘系统，以及过程监控和支持软件和硬件。这些项目有助于最大限度地提高您的效率,最大限度地减少停机时间,并密切控制流程参数。MIR 3000的多功能性、卓越的工艺控制和合理的尺寸使其成为测试实验室和大批量生产设施的绝佳选择。通过利用其先进的流程功能,公司能够提高产量、吞吐量、可重复性和速度。无论您是在寻找小型还是大型工艺的扩散炉，ASM MIR 3000都是满足您所有半导体需求的绝佳选择。