二手 ASM MIR 3000 #9351346 待售

ASM MIR 3000是一种扩散炉及附件设备，旨在提供耐用和先进的熔炉溶液，可以满足多个行业的热工艺需求。MIR 3000系统适用于光电器件制造、CMP标杆、先进器件封装、薄膜沉积、外延生长等多种应用。扩散炉和相关配件配有全自动过程控制器，可确保每个制造过程保持正常。该工艺控制器能够控制多达四个具有多达八个变量的独立工艺，使其成为多种工业应用的通用工具。该机组采用高容量、可靠的电机供电，并配有过温防护、过压阀、动力故障安全等多种安全特性。此外，炉子及随附的配件工具满足了最具挑战性的行业安全审批，如UL、CSA、NFPA 79。ASM MIR 3000资产具有先进的热过程控制选项、先进的控制软件包和平板设计,可加速热能在整个腔室的扩散。此外，该模型还拥有先进的热层剖面分析设备，可保证整个腔室内热量的均匀分布。该腔室采用易于使用的连续皮带设计，用于高通量操作。可选的数字皮带驱动系统可用于精确控制皮带速度，确保温度保持一致。此外，该机组还配备了先进的腔室冷却技术，消除了较长的冷却时间。总体而言，MIR 3000扩散炉和附件机是一种强大而可靠的工具，可用于多种热工艺应用。凭借其高度先进的工艺控制器、增强的安全功能以及先进的热处理工具,该资产为用户提供了可靠可靠的热处理解决方桉。