二手 ASM MIR 3000 #9358637 待售

ASM MIR 3000是ASM International为半导体制造工艺设计的扩散炉及相关配件。该系统由单室炉和控制器、气体溷合器、阀门、气体配件、歧管和管道、热电偶和温度计/控制器组成。MIR 3000的主室是由不锈钢製成的垂直圆柱体，并装有石墨敏感器。磁感器设计用于在加工过程中保持晶片,并将热量均匀地分布在整个表面上。炉膛内部还衬有石墨层，以保证隔热。加热元件位于感应器下方，通过PLC（可编程逻辑控制器）控制腔室温度。加热元件在炉膛内产生均匀的温度。气体溷合物通过气体溷合器、阀门、气体配件、歧管和管道输送到腔室。气流由质量流控制器调节，从而可以精确控制气体成分。气体溷合物通过几个气体入口引入腔室，这些气体入口与歧管和管道相连。使用热电偶和温度计/控制器监测和控制温度。热电偶被插入腔室，并检测整个腔室的温度水平。温度计/控制器用于设置和调整腔室的温度范围。ASM MIR 3000适用于广泛的扩散过程，包括热氧化、氮化、氧化物沉积和导体掺杂。该系统提供精确的温度控制，整个腔室的温度分布均匀，以及适合理想扩散条件的精确气体溷合。该系统易于编程，极其安全可靠，可用于广泛的应用。