二手 ASM MIR 3000 #9358639 待售

ASM MIR 3000扩散炉是半导体工业的通用工具，允许制造包括复杂三维结构在内的高质量半导体器件。该炉能够钝化、植入和扩散过程，并为低温退火和热氧化提供理想的平台。MIR 3000设计用于多个位置和多个基板,非常适合大规模生产和研发中的应用。炉芯由电阻元件组成，电阻元件由两个电源组合加热，可精确控制高达1350 °C的温度。采用石墨制造内镉，保证炉内热分布均匀，采用密实、气密的绝缘材料实现炉内抗氧化。提升机构和膨胀机构提供了卓越的可靠性和长期耐久性。ASM MIR 3000具有一套独特的配件，使扩散过程更容易、更快、更可靠。扩散批和单掺杂注射器可以精确控制沉积过程，而以精度0.1°C为特征的冷却和加热速率控制器则用于调节扩散过程的温度。独一无二的可编程机器驱动程序确保了用户定义的参数的一致应用，促进了扩散过程的完整可追踪性。MIR 3000还包括多区域调制（MZM）单元,通过完全控制温度剖面,提高了精度和安全性。先进的MZM还能够以每小时900个晶圆的最高速率并行处理数千个晶圆，非常适合高速生产应用。扩散炉还配备了广泛的软件和支持服务，使用户能够轻松地监控、调整和检查工艺参数。操作软件允许用户以直观的图形方式调整和监控炉子的参数，而支持系统则让用户获得有关操作和安全的技术建议。此外,还有一系列自我诊断工具,能够在潜在问题变得严重之前对其进行检测和警报。总体而言，ASM MIR 3000扩散炉及其一系列配件为制造商提供了生产复杂半导体器件的高效、可靠和灵活的工具。对温度和用户定义参数的精确控制使MIR 3000能够以完美的精确度和可重复性每小时处理数百万个晶圆,从而非常适合高速生产和复杂的研发应用。