二手 ASM SP 32 #293758590 待售

ASM SP 32是一种先进的扩散室，用于半导体制造，用于高纯度气体引入和抽空退火工艺。它专为600毫米以下的单个晶片量身定制,具有多种工艺模块,可高效、可靠地生产。设备的主要特点是低成本、高产生产的连续、全自动运行，与大气中其他晶片的可靠隔离，循环时间快。腔室可同时产生多达32个晶片，并具有对压力、温度和气流的智能控制以获得精确的结果。该系统配有扫描电子显微镜（SEM），用于在线观测和与计量系统集成，以及其他有助于促进高质量生产的先进诊断。该装置还具有多种安全功能，包括监测工艺和惰性气体泄漏情况、防护门报警器和监测腔室周围环境。机器还包括一系列有助于优化扩散过程和提高效率的配件。其中包括用于快速温度控制和跨晶片均匀性的平面冷却工具、用于调节气流和防止污染的气箱以及用于减少工艺变化的气体冷却资产。SP 32模型专为需要精确计时和串联控制功能的高级应用而设计。该设备与其他过程控制系统完美集成,可实现精确、自动化和简化的生产。该系统还可以从世界任何地方远程监控和调整,以最大程度地减少停机时间并优化生产。